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Alpha-Step D-300/500 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。Alpha-Step臺(tái)階儀光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。 探針測(cè)量技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是它是直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)?？烧{(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行測(cè)量。通過測(cè)量粗糙度和應(yīng)力，可對(duì)工藝進(jìn)行量化，確定添加或去除的材料量，以及結(jié)構(gòu)的任何變化。